近日，我校机械电子工程学院2018级电子科学与技术专业硕士研究生章海在工程技术领域国际顶级期刊上连发两篇SCI TOP文章，分别在 Applied Surface Science和Ceramics International发表学术论文《Effect of sputtering pressure on the optical and electrical properties of ITO film on fluorphlogopite substrate》及《Optical and electrical properties of ITO film on flexible fluorphlogopite substrate》，其中Applied Surface Science第一作者是章海同学，通讯作者是其导师朱华教授；Ceramics International导师为第一作者，章海同学为第二作者且第一通讯作者。

采用射频磁控溅射方法在氟晶云母基片上制备ITO薄膜，薄膜样品光电性能受溅射压强调控明显，1.5Pa以下随着压强的增大，薄膜的电阻率会急剧增大，3Pa以上电阻率变化趋于稳定，在0.6Pa时电阻率最低为1.51×10-3Ωcm。薄膜透过率时随着压强的增大，薄膜透过率也会增大，所有薄膜样品平均透过率高于86%（400-800nm波长范围内），11Pa样品平均光透过率高达92.6%。所有样品表现出优异的柔韧性和电学性能的稳定性，经1200次弯曲后，其方块电阻不超4.8%变化。

文章研究了退火温度对所制备薄膜光电性能的影响，实验经500-900oC高温退火实验，随温度的升高，薄膜电阻率明显降低，在800oC获得最低电阻率为4.08×10-4Ωcm的样品，相对不退火样品其电阻率下降一个数量级；其平均光透过率形成2个平台，在600oC以下温度处理，其平均光透过率（400-800nm波长区间）基本维持在91%左右，而在700oC-900oC高温处理后其平均透过率急速降低至85%左右。所有样品表现出机械柔性的稳定性，经1200次弯曲后，其方块电阻不超5%变化，而经800oC退火处理样品，其方块电阻变化不超过3%。氟晶云母衬底沉积的ITO薄膜，不仅具有优异的透明导电性能，而且其具有柔性、耐高温、耐强酸碱及弯曲的耐久性，是一种可替代高分子聚合物透明导电材料，可在超高温、强酸碱等极端条件下应用于柔性太阳能电池、柔性平板显示及光电探测器等。